島津場發(fā)射電子探針EPMA-8050G

島津場發(fā)射電子探針EPMA-8050G 開創(chuàng)新紀元

——的空間分辨率與超高靈敏度的*結合

“The Grand EPMA” 誕生

搭載*場發(fā)射電子光學系統(tǒng)將島津EPMA分析性能發(fā)揮到致。

從SEM觀察條件到1μA量級，在各種束流條件下都擁有空間分辨率的*場發(fā)射電子光學系統(tǒng)。結合島津傳統(tǒng)的高性能X射線譜儀，將分析性能發(fā)揮至致。

當之無愧的 “The Grand EPMA” ，高水準的EPMA誕生！

[性能特點]

● 的空間分辨率

電子探針可達到的高級別的二次電子圖像分辨率3nm（加速電壓30kV），分析條件下的二次電子分辨率。

（加速電壓10kV時20nm@10nA/50nm@100nA/150nm@1μA）

● 大束流超高靈敏度分析

實現3.0μA（加速電壓30kV）的大束流。可超高靈敏度進行超微量元素的面分析。并且全束流范圍無需更換物鏡光闌。

● 高性能X射線譜儀

秉承島津電子探針頗具優(yōu)勢的52.5°X射線取出角。采用4英寸羅蘭圓半徑的分光晶體兼顧高靈敏度與高分辨率?？赏瑫r搭載5通道高性能X射線譜儀。分析性能更勝*。

● 全部分析操作簡單易懂

全部操作僅靠一個鼠標就可進行的*可操作性。追求「易懂」的人性化用戶界面。搭載導航模式，自動指引直至生成報告。

◎實現微區(qū)超高靈敏度分析的*技術

1 高亮度肖特基發(fā)射體

島津場發(fā)射電子槍采用的肖特基發(fā)射體比一般傳統(tǒng)SEM使用的發(fā)射體針尖直徑更

大，輸出更高。即可以保持其高亮度，還可提供高靈敏度分析*的穩(wěn)

定大電流。

2 EPMA電子光學系統(tǒng)

電子光學系統(tǒng)，聚光透鏡盡可能的接近電子槍一側，交叉點不是靠聚光透鏡

形成，而是由安裝在與物鏡光闌相同位置上，具有獨立構成與控制方式的可

變光闌透鏡來形成交叉點的（日本利：第4595778號）。簡單的透鏡結

構，既能獲得大束流，同時全部電流條件下設定合適的打開角度，將電子

束壓縮到細。當然是不需要更換物鏡光闌的。

3 超高真空排氣系統(tǒng)

電子槍室、中間室、分析腔體之間分別安裝有篩孔（orifice）間隔方式的2

級差動排氣系統(tǒng)。中間室與分析腔體間的氣流孔做到小，以控制流入中

間室的氣體，使電子槍室始終保持著超高真空，確保發(fā)射體穩(wěn)定工作。

4 高靈敏度X射線譜儀

島津場發(fā)射電子探針多可同時搭載5通道兼顧高靈敏度與高分辨率的4英寸X射線譜儀。

52.5°的X射線取出角在提高了X射線信號的空間分辨率的同時，又可減小樣品對X射線

的吸收，實現高靈敏度的分析。